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적용 가능 분야
제품 설명
사용자 필요에 따라 2D, 2.5D, 3D 동시 검사 가능
14/16bit Digital CMOS 고해상도 FPD 디텍터 채용
통계 분석 디버깅을 통한 불량 유출 없이 최저 수준의 가성 불량률 달성
상세정보
제품 상세정보
Tube Power
130kV
Technology
2D, SFT, 2.5 Oblique, 3D-CERA
Panel Size
480㎜×360㎜
Object Resolution
3㎛ - 5㎛@Min.FOV
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